Durch den Einsatz fortschrittlicher Verfahren wie Kleinwerkzeugpolieren, magnetorheologische Bearbeitung und Ionenstrahlformgebung kann eine atomare Materialabtragung erreicht werden, was eine Oberflächenrauheit von weniger als 0,2 nm und höchste Formgenauigkeit ermöglicht. Diese Technologie eignet sich für die Herstellung von Produkten mit großem Durchmesser (50 bis 300 mm), darunter sphärische, asphärische und Freiform-Oberflächen. Die Formgenauigkeiten betragen für sphärische Oberflächen RMS <1/600λ, für asphärische Oberflächen RMS <1/200λ und für Freiform-Oberflächen RMS <1/50λ.